详细信息

一、产品简介

　　SuperView W1-SL/W2-SL微透镜测量专用工作站是一款专用于光通信中阵列微透镜晶圆进行自动化测量与分析的精密检测设备。其底层技术为白光干涉扫描术，基于高性能的光学成像系统，能够覆盖到各类规格的微透镜，获取从透镜中心到边缘的弱光信号并实现精准的3D形貌重建，从而得到表征微透镜加工质量的曲率ROC、非球面K系数、面型偏差RMS、粗糙度Sa、矢高等2D、3D参数。

　　整机设备如上图所示，放置在一个工作台上，并配置有气流防护罩，用于隔离车间内FFU风机的气流干扰，同时在设备内部还配有消静电离子风棒和真空及气浮隔振使用的数显表，并配备三色灯用于显示设备当前状态，采用侧挂式放置显示器，便于人机操作与观察。

二、产品功能

在针对微透镜的检测应用中，存在多种应用方式，SuperView W1-SL/W2-SL微透镜测量专用工作站根据这一专用应用场景，设计并开发了如下专项应用功能：

1) 单区域自动测量：支持单颗微透镜的一键测量，设备具备自动化测量及模板分析功能，只需一键即可实现单颗微透镜的3D形貌扫描与数据分析，直接获取曲率半径（ROC）、非球面K系数、面型偏差（RMS）、粗糙度（Sa）、几何轮廓（矢高、宽度）等全套工艺质量参数和判定结果，真正实现“一键测量、自动判定、结果即显”的检测流程，大幅提升微透镜元件的检测效率与数据一致性。

2) 多区域自动测量：系统提供四种专业化多区域自动测量模式，可适配不同检测场景，满足从随机抽检、阵列批量测量到整张晶圆上数万颗微透镜全检的全自动测量需求，确保高精度稳定检测。

■ 手动自定义点位测量：支持在微透镜样品上手动选取任意待测点位，载入扫描分析模板，一键完成所选点位的自动化测量与分析，满足小批量、灵活抽检需求。

■ 矩阵式批量阵列测量：针对规则排布的微透镜阵列，通过设定 X、Y 方向间距和测量个数参数，系统自动生成矩阵式测量路径，实现等间距、大批量透镜的一键式高效批量检测。

图2.1 阵列微透镜自动化测量功能界面

■ 全检点位导入式自动化测量：可直接导入微透镜样片的所有点位坐标，软件依据工艺参数自动加载检测模板，可进行mark点识别定位纠偏，一键实现针对数万颗微透镜的高精度检测，且可根据坐标点位文件进行跳跃式测量。

■ 支持分组阵列测量功能，导入样品信息文档生成阵列，实现多个微透镜组成一个小单元的阵列测量，如4通道或8通道甚至16通道等微透镜设计方式，主要应用于高速光模块中。

3) 多参数模板分析功能：支持分段线ROC、分区面ROC，线RMS、环区RMS、面RMS，非球面K系数、矢高、微透镜宽度等多参数在同一分析模板红一次性获取，支持非球面拟合形状去除功能，便于在非球面微透镜中获取更精准的分析参数。

4) 自动分Bin功能：支持依阈值智能判级、分Bin呈现，按测量点位生成良率分布 Map 图，工艺状态直观可视；数据可无缝对接前道工艺参数，测量结果同步指引前后道工序，构建“测量-良率判定-流转”的工艺协同。

图2.2 分Bin显示功能

5) 数据导出及工艺流转功能：支持CSV、Word、Excel、PDF多格式数据报表导出，可一键导出测量图像与数值结果；软件支持导入客户前道工艺文件，可将测量结果回写覆盖原工艺参数，实现样品工艺分级（Bin 分档），并支持按客户微透镜样品自定义阈值进行NG 判定。

6) 自动拼接测量：软件支持方形、圆形、环形的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持上千张图像的无缝拼接测量。

7) 便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等。

8) 环境噪声检测：具备0.1nm分辨率的环境噪声幅值检测功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅，为设备调试和故障排查提供定量依据。

9) 气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度。

10) 光源安全功能：设备设置了无人值守下的自主休眠功能，有效延长光源使用寿命。。

11) 镜头安全功能：软硬件双重防撞保护，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。

恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。