SuperView WX100系列白光干涉测头是一款非接触式精密光学测头，其基于白光干涉和精密扫描研制而成，主要由光学干涉系统和Z向扫描系统组成，具有体积小、重量轻、便携的特点，能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上，在产线上对器件表面进行自动化形式的测量，直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。
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WX100白光干涉测头（无倾斜/单镜筒版） |
WX100白光干涉测头（无倾斜/5孔电动版） |
WX100-T白光干涉测头（电动倾斜/单镜筒/5孔电动版）
1) 测量功能：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量。
2) 自动化测量：支持Mark点识别定位，建立定位坐标系，支持批量阵列点位设置或点位直接导入，并自动读取扫描分析模板，自动传输结果报告。
3) 辅助自动化功能：具备自动条纹搜索、自动亮度调节、扫描范围自动设置的多个辅助自动化功能。
4) 单区域自动测量：单个测量点位可实现一键测量。
5) 数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能。
6) 数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。
7) 批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析。
8) 数据报表导出：支持word、excel、csv、pdf格式的数据报表导出功能，支持2D/3D图像、轮廓曲线和数值结果的导出。
9) 环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声振幅检测功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据。
10) 光源安全功能：设备设置了无人值守下的自主休眠功能，有效延长光源使用寿命。
11) 镜头安全功能：软硬件双重防撞保护，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。
12) SDK软件：提供SDK软件和接口文档，便于客户集成到自己的机台或设备中进行控制应用；
对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
应用范例：
| 半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC |
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| 3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、金属壳模具瑕疵、玻璃屏高度差 |
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